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第65章技术层面的碾压
“热退火破裂?!”
听到消息的刘兴东,立马就站了起来,“这怎么可能!我们这边所有的检测都达标了啊!?”
“可这就是事实,不止是中芯这边,华鸿、立昂微、苏大微电子研究院那边,也全都出现了这个问题,没有一片刻成了晶圆。”
“我们现在基本可以肯定,这项技术存在严重的技术缺陷,只不过我们暂时也找不出原因……”
“如果你不相信,可以找申城硅产业做进一步的验证,我们这边的相关实验数据,也会安排人给你们送过去。”
“……”
挂完电话后,刘兴东整个人都还是懵的。
正常来说,从硅片变成晶圆,需要经过湿洗、光刻、离子注入、干蚀刻、湿蚀刻、等离子冲洗……
然后就是这次硅片出问题的环节:热处理!
而热处理,又分为快速热退火和退火。
快速热退火,就是使用大功率照射灯,把刻好的晶圆,瞬间照射到1200摄氏度,然后让它慢慢冷却。
这么做的目的,是为了使之前注入的离子,能更好的被启动以及热氧化。
硅信科技这次造出来的12寸硅片,就是在冷却的过程中,出现了材质破裂!
这相当于房子都快建好了,结果地基开裂……
简直是毁灭性的灾难!
刘兴东立即召集了技术团队,让他们赶紧做进一步的验证,还想着看能不能尽快解决这个技术缺陷。
此时的他,还完全没有意识到,这其实是康驰送给他的大礼。
主要是康驰的这份大礼,实在是太真了……
其实胡文均在拿到图纸的时候,也最多信了五成,剩下的五成,则是假设他们已经被暴露了,康驰给他们的,要么是假的,要么是有问题的。
但无论它是什么,收集到的重要情报,总得上报吧?
而刘兴东在收到情报后,肯定得验证一下情报的真实性吧?
然后这一验证,就直接上套了。
因为康驰送出的大礼,杀机藏得太深了,连吴院士在审查的时候,也只是隐约感到哪里不对劲,没能发现真正的问题所在。
然后,既然实际验证都成功了,各种常规检测也都没问题,刘兴东还能有啥顾虑的?
当然是抢先公布成果了。
难道还要藏着掖着,等大汉硅业完成实验验证吗?
所以至始至终,这都不是双方智商的较量,而是来自技术层面的碾压!
他们发现不了问题,那只能说是技不如人。
这甚至可以说是阳谋。
康驰从一开始,就根本不怕他们怀疑,
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